TFT—LCD是采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導(dǎo)體全集成電路制造技術(shù),是液晶(LC)、無(wú)機(jī)和有機(jī)薄膜電致發(fā)光(EL和OEL)平板顯示器的基礎(chǔ)。
TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上(當(dāng)然也可以在晶片上)通過(guò)濺射、化學(xué)沉積工藝形成制造電路必需的各種膜,通過(guò)對(duì)膜的加工制作大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路(LSIC)。
采用非單晶基板可以大幅度地降低成本,是傳統(tǒng)大規(guī)模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基板上制造控制像元(LC或OLED)開(kāi)關(guān)性能的TFT比在硅片上制造大規(guī)模IC的技術(shù)難度更大。
對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求(凈化度為100級(jí)),對(duì)原材料純度的要求(電子特氣的純度為99.999985%),對(duì)生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)技術(shù)的要求都超過(guò)半導(dǎo)體大規(guī)模集成,是現(xiàn)代大生產(chǎn)的頂尖技術(shù)。