設備外觀尺寸

880mm（L）×960mm（W）×1880mm（H）

清洗盤規格

定制（清洗盤直徑＜ø550mm)

清洗方式

二流體清洗

干燥方式

高速離心甩干

電源供應

AC380V 50HZ

總功率

7KW

耗電量

清洗時: 3.5kw/h

待機時: 1kw/h

傳動馬力

3HP

環境過濾方式

0.3μm；99.999%

空氣過濾方式

1μm×1；0.01μm×1

離心轉速

100-1500RPM

純水消耗量

0-7L/Min

氣體消耗量

10-30m³/H

清洗壓力

液體壓力：3-8Kgf/cm²     空氣壓力：0.2-0.5Mpa

DI水供應

流量：＞7LPM  電阻率：＞17MΩ

氣源供應

壓力：0.45-0.7Mpa；流量：＞30m³/H（潔凈度符合清洗要求）

純水入口徑

ø12mm軟管或PT1/2″內螺紋

氣源入口徑

ø12mm氣管

排水出口徑

PT 1″內螺紋

排氣口口徑

4″×2（需加強抽風,風速大于3m/sec）

機器凈重

450KG