TFT液晶屏的技術特點

TFT技術是二十世紀九十年代發展起來的，采用新材料和新工藝的大規模半導體全集成電路制造技術，是液晶(LC)、無機和有機薄膜電致發光(EL和OEL)平板顯示屏的基礎。其主要特點有：

1.大面積：九十年代初第一代大面積玻璃基板(300mm×400mm)TFT-LCD生產線投產，到2000年上半年玻璃基板的面積已經擴大到了680mm×880mm)，最近950mm×1200mm的玻璃基板也將投入運行。

2.高集成度：用于液晶投影的1.3英寸TFT芯片的分辨率為XGA含有百萬個像素。分辨率為SXGA(1280×1024)的16.1英寸的TFT陣列非晶體硅的膜厚只有50nm，以及TABONGLASS和SYSTEMONGLASS技術，其IC的集成度，對設備和供應技術的要求，技術難度都超過傳統的LSI。

3.功能強大：TFT最早作為矩陣選址電路改善了液晶的光閥特性。對于高分辨率顯示屏，通過0-6V范圍的電壓調節(其典型值0.2到4V)，實現了對象元的精確控制，從而使LCD實現高質量的高分辨率顯示成為可能。

4.低成本：玻璃基板和塑料基板從根本上解決了大規模半導體集成電路的成本問題，為大規模半導體集成電路的應用開拓了廣闊的應用空間。

5.工藝靈活：除了采用濺射、CVD(化學氣相沉積)MCVD(分子化學氣相沉積)等傳統工藝成膜以外，激光退火技術也開始應用，既可以制作非晶膜、多晶膜，也可以制造單晶膜。不僅可以制作硅膜，也可以制作其他的Ⅱ-Ⅵ族和Ⅲ-Ⅴ族半導體薄膜。

6.應用領域廣泛，以TFT技術為基礎的液晶平板顯示屏是信息社會的支柱產業，也技術可應用到正在迅速成長中的薄膜晶體管有機電致發光(TFT-OLED)平板顯示屏也在迅速的成長中。